一种用于通过气液的半导体用洁净BA管论文和设计-唐凤鸣

全文摘要

本实用新型涉及半导体的技术领域,特别地涉及一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其中的管体,所述管体中部折弯形成折弯部;底座,所述底座开设有适于容置管体的槽体;角度检测组件,所述角度检测组件安装在底座上,且所述角度检测组件适于插入至折弯部的内侧以校验管体的弯曲度;剔除组件,所述剔除组件安装在底座上位于角度检测组件插入方向的顶端,所述剔除组件适于将不合格的管体从底座上剔除,解决了人工检测管体弯曲度误差较大的问题,减少了人工的劳动强度,节约了管体的质检时间,提高了管体的检验效率。

主设计要求

1.一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,包括:管体,所述管体中部折弯形成折弯部;底座,所述底座开设有适于容置管体的槽体;角度检测组件,所述角度检测组件安装在底座上,且所述角度检测组件适于插入至折弯部的内侧以校验管体的弯曲度;剔除组件,所述剔除组件安装在底座上位于角度检测组件插入方向的顶端,所述剔除组件适于将不合格的管体从底座上剔除。

设计方案

1.一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,包括:

管体,所述管体中部折弯形成折弯部;

底座,所述底座开设有适于容置管体的槽体;

角度检测组件,所述角度检测组件安装在底座上,且所述角度检测组件适于插入至折弯部的内侧以校验管体的弯曲度;

剔除组件,所述剔除组件安装在底座上位于角度检测组件插入方向的顶端,所述剔除组件适于将不合格的管体从底座上剔除。

2.如权利要求1所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述角度检测组件包括:角度尺组件和水平移动组件;其中

所述水平移动组件沿槽体的长度方向分布,且所述水平移动组件适于推动角度尺组件插入至折弯部中,以校验管体的折弯角度。

3.如权利要求2所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述水平移动组件包括:驱动电机、传送带、夹紧装置、导向装置和两个传送轮;其中

所述导向装置平行于槽体设置在底座上;

所述传送带的两端环绕在两传送轮外壁;

所述驱动电机适于驱动任意一个传送轮以带动传送带做水平输送运动,即平行于槽体的导向装置的方向;

所述角度尺组件通过夹紧装置固定于传动带上以跟随传送带沿着导向装置的方向移动。

4.如权利要求3所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述水平移动组件还包括:移动座;

所述角度尺组件安装在移动座上;

所述导向装置包括:两个滑轨和适配在滑轨中滚动的四个滑轮;其中

两个所述滑轨平行设置在槽体的两侧;

四个所述滑轮分别安装在移动座的四个角上,且所述滑轮与移动座转动连接。

5.如权利要求4所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述夹紧装置包括:夹紧板和若干夹紧螺钉;

所述夹紧板一端与移动座铰接,以盖合在传送带上;

所述夹紧板的另一端通过夹紧螺钉与移动座固定连接。

6.如权利要求5所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述夹紧板位于盖合在传送带上的一侧设有若干柔性凸起;

所述柔性凸起适于增大夹紧板与传送带之间的摩擦力,以提供移动座随动。

7.如权利要求6所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述角度尺组件包括:下底板、上顶板和设置在两者之间的撑脚;其中

所述下底板固定连接于移动座上,且所述下底板的上侧沿长度方向设有若干卡槽;

所述上顶板与下底板铰接,所述上顶板与下底板之间形成的角度即为管体的检验角;

所述撑脚的一端铰接于上顶板的内侧,所述撑脚的另一端伸入至卡槽中,以提供不同的检测角。

8.如权利要求7所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述剔除组件包括:固定板和吸附装置;其中

所述固定板固定在底座上位于角度尺组件移动方向的一端,且所述固定板的中部开设有适于管体穿过的通孔;

所述吸附装置设置在上顶板与下底板的连接处,且所述吸附装置适于插入折弯部中与管体贴合后吸住管体,即弯曲度合格。

9.如权利要求7所述的一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,其特征在于,

所述底座上还设有适于将管体压紧在槽体中的压紧组件;

所述压紧组件对称分布于管体的两侧;

每个所述压紧组件包括:直线电机和压紧块;其中

所述直线电机与底座固定连接,且所述直线电机适于驱动压紧块向管体移动并将管体压紧在槽体中。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体的技术领域,特别地涉及一种用于通过气液的半导体用洁净BA管。

背景技术

不锈钢BA管, Bright Annealed tube(真空光亮退火管),又叫洁净管,光亮退火管,无缝管,气路管,高纯气路管线,卡套管,采用气氛保护热处理。

洁净BA管用在半导体领域的时候,对于精度要求较高,但是现有技术中通过人工对管体的弯曲度进行测量,并人工剔除次品,这样的方式测量误差较大,且工作强度较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种避免人工检测管体弯曲度误差较大的用于通过气液的半导体用洁净BA管。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于通过气液的半导体用洁净BA管,包括:

管体,所述管体中部折弯形成折弯部;

底座,所述底座开设有适于容置管体的槽体;

角度检测组件,所述角度检测组件安装在底座上,且所述角度检测组件适于插入至折弯部的内侧以校验管体的弯曲度;

剔除组件,所述剔除组件安装在底座上位于角度检测组件插入方向的顶端,所述剔除组件适于将不合格的管体从底座上剔除。

作为优选,所述角度检测组件包括:角度尺组件和水平移动组件;其中

所述水平移动组件沿槽体的长度方向分布,且所述水平移动组件适于推动角度尺组件插入至折弯部中,以校验管体的折弯角度。

作为优选,所述水平移动组件包括:驱动电机、传送带、夹紧装置、导向装置和两个传送轮;其中

所述导向装置平行于槽体设置在底座上;

所述传送带的两端环绕在两传送轮外壁;

所述驱动电机适于驱动任意一个传送轮以带动传送带做水平输送运动,即平行于槽体的导向装置的方向;

所述角度尺组件通过夹紧装置固定于传动带上以跟随传送带沿着导向装置的方向移动。

作为优选,所述水平移动组件还包括:移动座;

所述角度尺组件安装在移动座上;

所述导向装置包括:两个滑轨和适配在滑轨中滚动的四个滑轮;其中

两个所述滑轨平行设置在槽体的两侧;

四个所述滑轮分别安装在移动座的四个角上,且所述滑轮与移动座转动连接。

作为优选,所述夹紧装置包括:夹紧板和若干夹紧螺钉;

所述夹紧板一端与移动座铰接,以盖合在传送带上;

所述夹紧板的另一端通过夹紧螺钉与移动座固定连接。

作为优选,所述夹紧板位于盖合在传送带上的一侧设有若干柔性凸起;

所述柔性凸起适于增大夹紧板与传送带之间的摩擦力,以提供移动座随动。

作为优选,所述角度尺组件包括:下底板、上顶板和设置在两者之间的撑脚;其中

所述下底板固定连接于移动座上,且所述下底板的上侧沿长度方向设有若干卡槽;

所述上顶板与下底板铰接,所述上顶板与下底板之间形成的角度即为管体的检验角;

所述撑脚的一端铰接于上顶板的内侧,所述撑脚的另一端伸入至卡槽中,以提供不同的检测角。

作为优选,所述剔除组件包括:固定板和吸附装置;其中

所述固定板固定在底座上位于角度尺组件移动方向的一端,且所述固定板的中部开设有适于管体穿过的通孔;

所述吸附装置设置在上顶板与下底板的连接处,且所述吸附装置适于插入折弯部中与管体贴合后吸住管体,即弯曲度合格。

作为优选,所述底座上还设有适于将管体压紧在槽体中的压紧组件;

所述压紧组件对称分布于管体的两侧;

每个所述压紧组件包括:直线电机和压紧块;其中

所述直线电机与底座固定连接,且所述直线电机适于驱动压紧块向管体移动并将管体压紧在槽体中。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型的用于通过气液的半导体用洁净BA管,通过角度检验组件插入至折弯部的内侧以校验管体的弯曲度,这样的方式校验管体的弯曲度相比于人工检测误差更小,减少了人工的劳动强度,节约了管体的质检时间,提高了管体的检验效率。

本实用新型的用于通过气液的半导体用洁净BA管,通过剔除组件将不合格的管体从底座上剔除,省去人工进行剔除次品,自动化程度更高,进一步减少了工人的劳动强度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的用于通过气液的半导体用洁净BA管的优选实施例的立体图;

图2是图1中局部放大图的示意图;

图3是本实用新型的用于通过气液的半导体用洁净BA管的夹紧板的立体图示意图;

图中:

1. 管体,11. 折弯部,

2. 底座,21. 槽体,

3. 角度检测组件,31. 角度尺组件,311. 下底板,312. 上顶板,313. 撑脚,314.卡槽,32. 水平移动组件,321. 驱动电机,322. 传送带,323. 传送轮,324. 移动座,325.滑轨,326. 滑轮,327. 夹紧板,328. 夹紧螺钉,329. 柔性凸起

41. 固定板,411. 通孔,42. 吸附装置,

5. 压紧组件,51. 直线电机,52. 压紧块。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

本实用新型的用于通过气液的半导体用洁净BA管,包括:管体1,所述管体1中部折弯形成折弯部11;底座2,所述底座2开设有适于容置管体1的槽体21;角度检测组件3,所述角度检测组件3安装在底座2上,且所述角度检测组件3适于插入至折弯部11的内侧以校验管体1的弯曲度;剔除组件,所述剔除组件安装在底座2上位于角度检测组件3插入方向的顶端,所述剔除组件适于将不合格的管体1从底座2上剔除,这样的设计进行校验管体1的弯曲度相比于人工检测误差更小,减少了人工的劳动强度,节约了管体1的质检时间,提高了管体1的检验效率。

在本实施例中,所述角度检测组件3包括:角度尺组件31和水平移动组件32;其中所述水平移动组件32沿槽体21的长度方向分布,且所述水平移动组件32适于推动角度尺组件31插入至折弯部11中,以校验管体1的折弯角度,如果角度尺组件31插入至折弯部11中且与管体1内壁没有间隙,则管体1的弯曲度合格;若角度尺组件31插入至折弯部11中与管体1的内壁存在间隙,则管体1的折弯部11与角度尺组件31不匹配,则管体1的弯曲度不合格,该管体1为次品,通过剔除组件剔除。

在本实施例中,为了保证角度尺组件31移动的直线度和平稳性,所述水平移动组件32包括:驱动电机321、传送带322、夹紧装置、导向装置和两个传送轮323,传送带322组件可以但不仅限于皮带;其中所述导向装置平行于槽体21设置在底座2上;所述传送带322的两端环绕在两传送轮323外壁;所述驱动电机321适于驱动任意一个传送轮323以带动传送带322做水平输送运动,即平行于槽体21的导向装置的方向;所述角度尺组件31通过夹紧装置固定于传动带上以跟随传送带322沿着导向装置的方向移动,通过传送带322的直线输送来带动角度尺组件31移动,相比于直接驱动角度尺组件31移动,这样的方式可以避免角度尺组件31在移动过程中产生偏移而造成测量误差,为角度尺组件31的移动提供平稳性。

在本实施例中,为了进一步保证角度尺组件31移动的直线度和平稳性,所述水平移动组件32还包括:移动座324;所述角度尺组件31安装在移动座324上;所述导向装置包括:两个滑轨325和适配在滑轨325中滚动的四个滑轮326;其中两个所述滑轨325平行设置在槽体21的两侧;四个所述滑轮326分别安装在移动座324的四个角上,且所述滑轮326与移动座324转动连接,移动座324带动角度尺组件31滑动的时候,通过滑轮326在滑轨325中滑动来限定移动座324的移动方向,避免移动座324移动过程中左右偏移而影响管体1弯曲度的测量,同时通过滑轮326在滑轨325中滑动的方式,滑轮326能够提供对移动座324的支撑,避免角度尺组件31在移动过程中由于重力的作用而下坠导致测量管体1的弯曲度不准确的情况。

在本实施例中,所述夹紧装置包括:夹紧板327和若干夹紧螺钉328;所述夹紧板327一端与移动座324铰接,以盖合在传送带322上;所述夹紧板327的另一端通过夹紧螺钉328与移动座324固定连接,在需要移动移动座324的时候只需要将夹紧螺钉328安装固定在移动座324上与其对应的安装孔中,通过夹紧螺钉328压紧夹紧板327的压紧力来提供夹紧板327夹紧传送带322的夹紧力;在不需要移动移动座324的时候,只需要拆卸夹紧螺钉328,将夹紧板327打开就行了,这样的方式操作比较简单。

在本实施例中,为了提高夹紧板327对于传送带322的夹紧力,所述夹紧板327位于盖合在传送带322上的一侧设有若干柔性凸起329;所述柔性凸起329适于增大夹紧板327与传送带322之间的摩擦力,以提供移动座324随动,柔性凸起329可以是橡胶材料,橡胶材料在发生形变后比较容易恢复至初始状态从而进行下一次夹紧,柔性凸起329可以是柱状,在夹紧传送带322的时候,柱状的柔性凸起329的根部发生折叠,柱状的柔性凸起329的侧壁与传送带322接触后,表面粗糙度更大,移动座324能够跟随传送带322移动而移动座324不会与传送带322产生相对移动。

在本实施例中,所述角度尺组件31包括:下底板311、上顶板312和设置在两者之间的撑脚313;其中所述下底板311固定连接于移动座324上,且所述下底板311的上侧沿长度方向设有若干卡槽314;所述上顶板312与下底板311铰接,所述上顶板312与下底板311之间形成的角度即为管体1的检验角;所述撑脚313的一端铰接于上顶板312的内侧,所述撑脚313的另一端伸入至卡槽314中,以提供不同的检测角,通过撑脚313卡入不同的卡槽314中,上顶板312与下底板311之间形成的夹角不同,用来检测不同的管体1的弯曲度。

在本实施例中,所述剔除组件包括:固定板41和吸附装置42;其中所述固定板41固定在底座2上位于角度尺组件31移动方向的一端,且所述固定板41的中部开设有适于管体1穿过的通孔411;所述吸附装置42设置在上顶板312与下底板311的连接处,且所述吸附装置42适于插入折弯部11中与管体1贴合后吸住管体1,即弯曲度合格,吸附装置42可以是磁铁,在校验前,在管体1的折弯部11处也放置一个磁铁,如果管体1的弯曲度合格,则管体1上的磁铁上顶板312与下底板311的铰接处的磁铁上,当上顶板312推动管体1穿过通孔411后,通过磁铁的吸力,管体1能够悬空在空中,通过人工将管体1卸料;反之,如果管体1的弯曲度不合格,则次品的管体1不能悬浮在空中,管体1穿过通孔411后便下降落地,完成剔除。

在本实施例中,为了保证管体1在检测的时候不会翘起,所述底座2上还设有适于将管体1压紧在槽体21中的压紧组件5;所述压紧组件5对称分布于管体1的两侧;每个所述压紧组件5包括:直线电机51和压紧块52;其中所述直线电机51与底座2固定连接,且所述直线电机51适于驱动压紧块52向管体1移动并将管体1压紧在槽体21中,在上顶板312和下底板311的铰接处插入至折弯部11中的时候,管体1位于槽体21中的一端不会翘起,保证了测量的准确性,当伸入折弯部11的时候,直线电机51驱动压紧块52压紧管体1,当要推动管体1剔除的时候,直线电机51回退带动压紧块52回退,提供给移动座324移动的空间。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

设计图

一种用于通过气液的半导体用洁净BA管论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201822273277.8

申请日:2018-12-31

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:32(江苏)

授权编号:CN209363051U

授权时间:20190910

主分类号:B07C 5/06

专利分类号:B07C5/06;B07C5/36

范畴分类:26A;

申请人:无锡市精密钢管有限公司

第一申请人:无锡市精密钢管有限公司

申请人地址:214000 江苏省无锡市宜兴市周铁镇东湖村(工业集中区)

发明人:唐凤鸣

第一发明人:唐凤鸣

当前权利人:无锡市精密钢管有限公司

代理人:印苏华

代理机构:32280

代理机构编号:常州市权航专利代理有限公司

优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

标签:;  ;  

一种用于通过气液的半导体用洁净BA管论文和设计-唐凤鸣
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