基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法

基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法

论文摘要

针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法。采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机构实现薄膜厚度的逐行扫描测量。测量系统在恒温实验条件下20 min内的漂移不超过8 nm,测量结果平均差小于1 nm,通过与椭圆偏振仪的测量结果比较,测量差值为12.97 nm,表明了该方法的可行性。

论文目录

  • 引言
  • 1 测量原理
  • 2 测量实验
  • 3 误差分析
  • 4 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 时凯,苏俊宏,齐媛

    关键词: 激光干涉,外差,薄膜厚度,测量

    来源: 应用光学 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

    专业: 物理学,工业通用技术及设备

    单位: 西安工业大学光电工程学院,陕西省光电测试与仪器重点实验室,西安应用光学研究所

    基金: 陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS042),西安工业大学光电工程学院院长基金(2017GDYJY02)

    分类号: O484.5

    页码: 473-477

    总页数: 5

    文件大小: 518K

    下载量: 370

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