论文摘要
详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 付绪光,陈其国,吕加南
关键词: 二氯二氢硅,反歧化反应,三氯氢硅,硅烷,多晶硅,氮化硅薄膜,二氧化硅薄膜
来源: 氯碱工业 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 有机化工
单位: 江苏中能硅业科技发展有限公司,先进硅材料制备技术国家地方联合工程研究中心,江苏省多晶硅材料工程技术研究中心
分类号: TQ264.1
页码: 29-32
总页数: 4
文件大小: 116K
下载量: 56
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标签：二氯二氢硅论文; 反歧化反应论文; 三氯氢硅论文; 硅烷论文; 多晶硅论文; 氮化硅薄膜论文; 二氧化硅薄膜论文;