我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究

论文摘要

当前半导体行业的关键设备及关键部件基本由欧美日垄断,加上技术封锁造成的代差,未来很长一段时间我国半导体设备制造在软硬件上都无法实现质的跨越。通过综述国内外半导体清洗装备行业发展现状,以半导体清洗机的关键部件——嵌入式高压空气泵为例,从经济性评价指标、技术可行性和知识产权风险、博弈四个维度分析当前难于国产化之困局,寻求破局之策。

论文目录

• 1 半导体行业背景
•   1.1 行业概况
•   1.2 我国现状
•   1.3 半导体清洗设备行业状况
•   1.4 清洗设备之关键部件———空气泵的状况
• 2 关键部件国产化之困局
•   2.1 国产化技术及验证之困———无法施展拳脚
•   2.2 设备国产化成本之困———优势不明显
•   2.3 行业整合之困———整合难度大
•   2.4 市场供需不平衡之困———关键零部件受制
•   2.5 知识产权之困———337调查愈演愈烈
• 3 困局成因分析
• 4 破解困局之策
•   4.1 政府主导
•   4.2 企业自主创新工艺
•   4.3 降低企业知识产权成本, 提高风险预警与防范意识
•   4.4 产学研结合, 缩短学与产的距离
•   4.5 后发企业主应谨慎合规经营
•   4.6 增加半导体设备产业工人粘度
•   4.7 行业协会专业协调, 避免无序竞争和内耗
•   4.8 发挥本土服务优势

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 马磊

关键词: 半导体,清洗设备,嵌入式高压空气泵,国产化,经济性评价指标,技术可行性,知识产权

来源: 现代化工 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑,信息科技,经济与管理科学

专业: 机械工业,无线电电子学,工业经济

单位: 上海奥牧机电科技有限公司,中国社会科学院研究生院

分类号: TH38;F426.63

DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.04.002

页码: 6-12+14

总页数: 8

文件大小: 138K

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