导读:本文包含了氮退火论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:沟道,表面,晶体管,电流,电压,密度,特性。
氮退火论文文献综述写法
梁永林[1]（1993）在《湿氮退火改善晶体管表面特性——提高小电流下β》一文中研究指出本文对湿氮退火改善晶体管表面特性,特别是提高小电流下β进行了论述,并对工艺作了较详细的探讨.(本文来源于《半导体技术》期刊1993年04期）
王济身,许春芳,陈琳,范焕章[2]（1980）在《低温湿氮退火对SiO_2-Si界面的影响》一文中研究指出用高频C—V和准静态C-V技术研究了低温湿氮退火对SiO_z—Si界面的影响。结果表明,铝淀积后并在铝腐蚀之前的460℃湿氮退火有效地减少了表面电荷和界面态密度。还比较了铝淀积前退火、铝腐蚀前退火和铝腐蚀后退火的效果,证明铝腐蚀前退火给出最小的表面电荷和界面态密度。对结果和退火机理进行了讨论。(本文来源于《上海师范大学学报(自然科学版)》期刊1980年04期）
熊周华[3]（1973）在《磷扩前通氮退火对单双结特性的影响》一文中研究指出江苏常州半导体厂在生产高频大功率管(3DA501耗散为50W、f_T≥10MC;3DA53为5W、f_T≥100MC)时,从实践中得到通氮退火对提高击穿电压和成品率有好处.我们在该厂进行毕业实践中,针对此问题,在工人师傅和教师指导下,作了一些实验,试图探讨通氮退火对单、双结击穿特性影响的机理和找出较佳的退火条件。实验中通过对比的方法初步找出了一些通氮退火前后单结特性的变化规律,分析了消除(或削弱)表面沟道漏电流的可能机理。着重做了通氮退火对双结特性影响的实验,根据结(本文来源于《武汉大学学报(自然科学)》期刊1973年02期）
氮退火论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
用高频C—V和准静态C-V技术研究了低温湿氮退火对SiO_z—Si界面的影响。结果表明,铝淀积后并在铝腐蚀之前的460℃湿氮退火有效地减少了表面电荷和界面态密度。还比较了铝淀积前退火、铝腐蚀前退火和铝腐蚀后退火的效果,证明铝腐蚀前退火给出最小的表面电荷和界面态密度。对结果和退火机理进行了讨论。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氮退火论文参考文献
[1].梁永林.湿氮退火改善晶体管表面特性——提高小电流下β[J].半导体技术.1993
[2].王济身,许春芳,陈琳,范焕章.低温湿氮退火对SiO_2-Si界面的影响[J].上海师范大学学报(自然科学版).1980
[3].熊周华.磷扩前通氮退火对单双结特性的影响[J].武汉大学学报(自然科学).1973