国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展

论文摘要

针对工程使用过程中,振动、冲击和过载等力学输入造成微机电（Micro-Electro Mechanical System,MEMS）陀螺及组合性能恶化的问题,对国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展进行了梳理。从敏感结构、封装体、器件/系统层级,设计、加工工艺、封装和系统集成等角度,介绍国外主流的力学环境适应性技术方法,为国内相关技术的研究提供参考。

论文目录

• 0 引言
• 1 敏感结构级
•   1.1 敏感结构设计优化
•   1.2 局部工艺修调
• 2 封装体级
• 3 器件/系统级
•   3.1 分立式减振
•   3.2 一体化减振
•   3.3 涂覆和灌封
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘飞,王汝弢,郭中洋,张菁华

关键词: 陀螺,减振,冲击防护,抗过载

来源: 飞控与探测 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 北京自动化控制设备研究所

分类号: TH824.3

页码: 12-17

总页数: 6

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