论文摘要
本文利用迈克尔逊干涉装置,以平面波作为参考光束,物体表面反射光作为物光束,理论构建了包含物体面形信息的二维干涉强度分布模型。并以物体为任意曲面时的干涉强度图为基础,采用菲涅尔变换的方法对物体的三维形貌进行构建。该方法可以实时地给出三维物体表面形貌的高精度(波长量级)测量,在物体面形重构测量方面具有潜在的应用价值。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘温彦
关键词: 干涉,面形,重建
来源: 电子技术与软件工程 2019年24期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学,计算机软件及计算机应用
单位: 郑州大学
分类号: TP391.41;O436.1
页码: 248-249
总页数: 2
文件大小: 1794K
下载量: 107
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