导读:本文包含了光程补偿论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光程,干涉仪,视场,光谱仪,反射,微结构,红外光。
光程补偿论文文献综述
史健华,韩丙辰[1]（2019）在《光程补偿近红外光透射反射干涉重构微结构内部形貌》一文中研究指出高深宽比微结构的底部及侧壁形貌重构是微机电系统领域亟待解决的一个问题。本文提出光程补偿近红外光透射反射干涉技术重构微结构内部形貌的方法,所采用的近红外光干涉技术将白光干涉系统中的光源扩展至近红外光源,将反射干涉技术扩展至透射反射干涉技术,近红外光干涉测量系统由近红外光光源、干涉显微镜、红外光CCD、高精度压电陶瓷和数据采集系统组成。设计了具有两个台阶的GaAs半导体微结构待测样品,采用近红外光垂直扫描干涉法并通过光程补偿,重构了微结构的内部叁维形貌,并与扫描电镜结果进行对比。光程补偿近红外光透射反射干涉技术测量的台阶相对高度分别为2. 132μm和0. 766μm,与扫描电镜和近红外光反射干涉测量结果基本一致,分别对应2. 16%和2. 68%的相对误差。测量结果表明,该测量系统能够测量高深宽比微结构底部及侧壁形貌。(本文来源于《中国光学》期刊2019年02期）
王艳超,王志斌,张记龙,陈友华[2]（2013）在《大光程差弹光调制干涉仪的温度补偿策略及实现》一文中研究指出针对大光程差弹光调制干涉仪工作中的温漂问题,提出了一种包含电压和相位补偿的温度补偿控制策略。首先,根据相似与模化理论,建立了弹光调制干涉仪机械特性的等效电路模型,分析了温度对弹光调制干涉仪谐振频率的影响,建立了驱动电压、频率和谐振频率之间的数理模型,确定了大光程差条件下达到稳定状态的控制方法;然后,将数字锁相环技术与电压和相位补偿程序相结合,给出了包含电压和相位补偿的光程差偏移数字式控制设计方法;最后,将包含电压和相位补偿的数字式驱动控制系统与传统的模拟驱动控制系统进行对比测试,采用激光多普勒测振仪记录3小时内光程差偏移量。结果表明,该方法将长时间工作中温漂造成的光程差偏移率降低了约50%。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2013年05期）
祝宝辉,张淳民,鲁辉东,曾文锋[3]（2012）在《大光程差、宽场、消色差、热补偿型迈克耳孙风成像干涉仪动镜倾斜误差分析》一文中研究指出大光程差、宽场、消色差、热补偿型风成像干涉仪是在一定的基准光程差的基础上,通过动镜步进的方法,获得观测目标在一个波长范围内间隔为λ/4的4个干涉强度,并依此推算出高层大气的风速、气压、温度的新型风场探测装置。而在干涉仪的工程研制和实际风场测量过程中不可避免地存在着基准光程差误差、步长误差以及动镜倾斜误差等。为了精确地掌握这些误差对最终观测结果的影响以更好地满足风成像干涉仪的工程化和实际应用,对在一定的不确定度范围内的动镜倾斜误差进行了理论计算和分析,得到并给出了动镜倾斜误差的计算方法,计算了在误差允许范围内的动镜倾斜容限,并通过计算机模拟讨论并分析了研究结果。这些研究工作对风成像干涉仪的理论研究、技术创新、研制、性能改进和工程化都具有理论与实践指导意义,并为其更好地应用于高层大气风场被动探测提供了理论依据。(本文来源于《中国激光》期刊2012年11期）
童桂,徐宏[4]（2009）在《激光切割过程中的光程补偿与切割质量》一文中研究指出基于激光切割加工大型板材时光束的传输路径长度差异导致切缝切割质量的下降,提出了采用高精度位移电机来实时补偿光束的路径长度并在切割过程中保持光束焦点形状一致的方法,经过切割10mm厚板材的实验分析,切割质量得到了提高。(本文来源于《南京工业职业技术学院学报》期刊2009年04期）
杨玖娟,吴建宏,李朝明[5]（2009）在《具有消像差和光程补偿功能的新型取样光栅》一文中研究指出在惯性约束聚变(ICF)终端光学聚焦系统中,采用取样光栅将透射的高功率叁倍频光按约0.5%的效率进行聚焦采样,送入能量计中进行诊断。提出了用取样光栅对结构取代单取样光栅,通过合理选择系统参数,包括两块光栅的距离、光栅倾斜角度等,设计出的消像差取样光栅可同时进行能量诊断、光脉冲响应测量、以及远场光斑质量的检测。计算结果显示:光程差从8.3 cm降低到8.7 mm,像点的均方根半径为0.777μm,达到衍射极限和使用要求。这为ICF系统中激光能量、波前畸变的诊断提供了一种可供选择的新诊断装置。(本文来源于《强激光与粒子束》期刊2009年09期）
杨晓许,周泗忠,相里斌[6]（2005）在《转镜式傅里叶变换光谱仪光程差非线性的拟合法补偿》一文中研究指出转镜式傅里叶变换光谱仪中光程差非线性带来了干涉图周期变化和相位误差,对非线性的拟合法补偿利用采样得到的干涉图进行重构,得到不含相位和周期误差的干涉图,再按照均匀采样函数对干涉图进行二次采样,消除非线性光程差对复原光谱的影响.经过二次采样的干涉图不含周期和相位误差,可以直接使用现有的软件进行光谱复原.计算机仿真实验证明这种方法行之有效,且利用4次多项式拟合干涉图效果更好.(本文来源于《光子学报》期刊2005年11期）
吴磊,张淳民,廖京川[7]（2004）在《视场补偿型萨瓦偏光镜横向剪切量和光程差的精确计算》一文中研究指出偏振干涉成像光谱仪具有稳态、大视场、高通量、多通道、体积小和原理简单等优点,应用前景非常广阔。本文分析了基于视场补偿型萨瓦偏光镜的稳态大视场偏振干涉成像光谱仪(SLPIIS)的分光机理,并给出了其横向剪切量和光程差的精确计算公式,为偏振干涉成像光谱仪的设计、研制和调试提供了理论和应用指导。(本文来源于《大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集》期刊2004-06-30）
方福胜[8]（1990）在《光干涉仪光程差补偿系统》一文中研究指出分析光干涉仪中光程差产生的某些因素,介绍光程差补偿系统的工作原理和设计要求,描述试验光干涉仪光度差补偿系统的结构设计方案,提出了实用光干涉仪光程差补偿系统的初步设想并讨论了该补偿系统设计中可能存在的有关问题。(本文来源于《陕西天文台台刊》期刊1990年02期）
杜贤和,张锦秀[9]（1983）在《测量透明膜层厚度的光程补偿法》一文中研究指出一、测量装置简述该装置(图1)用于快速、非破坏性地测量透明膜层的厚度。红外灯泡1的缺紫外光线(为了避免用乳胶透明膜时感光)经抛物镜2聚光成平行光束射向标准光程补偿板B。由B′、B″两个表面反射60°后,再射向被测物A,由膜层表面A′及衬底A″反射经显微镜C进入视场。在视场中将看见两套白光彩色干涉带组,一套是标准光程补偿板引进的;另一套则是当A′-A″的光程正好被B′-B″的光程所补偿时,出现的白光零次干涉带。由于光线倾斜30°角入射,使膜层表面能反射出较强的反射光,可获得对比度(本文来源于《计量技术》期刊1983年01期）
光程补偿论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对大光程差弹光调制干涉仪工作中的温漂问题,提出了一种包含电压和相位补偿的温度补偿控制策略。首先,根据相似与模化理论,建立了弹光调制干涉仪机械特性的等效电路模型,分析了温度对弹光调制干涉仪谐振频率的影响,建立了驱动电压、频率和谐振频率之间的数理模型,确定了大光程差条件下达到稳定状态的控制方法;然后,将数字锁相环技术与电压和相位补偿程序相结合,给出了包含电压和相位补偿的光程差偏移数字式控制设计方法;最后,将包含电压和相位补偿的数字式驱动控制系统与传统的模拟驱动控制系统进行对比测试,采用激光多普勒测振仪记录3小时内光程差偏移量。结果表明,该方法将长时间工作中温漂造成的光程差偏移率降低了约50%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光程补偿论文参考文献
[1].史健华,韩丙辰.光程补偿近红外光透射反射干涉重构微结构内部形貌[J].中国光学.2019
[2].王艳超,王志斌,张记龙,陈友华.大光程差弹光调制干涉仪的温度补偿策略及实现[J].光谱学与光谱分析.2013
[3].祝宝辉,张淳民,鲁辉东,曾文锋.大光程差、宽场、消色差、热补偿型迈克耳孙风成像干涉仪动镜倾斜误差分析[J].中国激光.2012
[4].童桂,徐宏.激光切割过程中的光程补偿与切割质量[J].南京工业职业技术学院学报.2009
[5].杨玖娟,吴建宏,李朝明.具有消像差和光程补偿功能的新型取样光栅[J].强激光与粒子束.2009
[6].杨晓许,周泗忠,相里斌.转镜式傅里叶变换光谱仪光程差非线性的拟合法补偿[J].光子学报.2005
[7].吴磊,张淳民,廖京川.视场补偿型萨瓦偏光镜横向剪切量和光程差的精确计算[C].大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集.2004
[8].方福胜.光干涉仪光程差补偿系统[J].陕西天文台台刊.1990
[9].杜贤和,张锦秀.测量透明膜层厚度的光程补偿法[J].计量技术.1983
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