论文摘要
低频振动对高精度加工和测量都有严重不利影响,被动隔振方法无法有效减小低频振动,精确测量低频振动是主动隔振的前提。研制了一种基于DVD光学读取头的悬臂式低频加速度计。介绍了低频加速度计的检测原理和结构;将市售DVD光学读数头改装成了高精度位移传感器;在分析和反复优化的基础上确定了悬臂梁式弹簧片合适的材料和结构参数。以自制振动台为振源,高精度低漂移的电涡流传感器(分辨率0.07nm)作为基准,对所研制的加速度计进行了标定,结果为灵敏度9.26 V/g,频率响应范围3~10 Hz,加速度测量范围0.4~32.8 mg,10次测量标准差优于0.01 mg,共振频率44 Hz。可以用于低频微小振动的检测。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李瑞君,常振鑫,雷英俊,胡鹏浩,范光照
关键词: 微振动,低频,悬臂梁,光学读取头,加速度计
来源: 机械工程学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,大连理工大学机械工程学院
基金: 国家自然科学基金面上资助项目(51475133,51675157)
分类号: TH824.4
页码: 10-17
总页数: 8
文件大小: 1287K
下载量: 135
相关论文文献
- [1].一种基于惯导系统的线加速度计动态性能测试方法[J]. 兵器装备工程学报 2019(12)
- [2].基于支持度的椭球拟合微机械电子系统加速度计现场标定方法研究[J]. 兵工学报 2020(01)
- [3].一种谐振式加速度计的稳定性分析方法[J]. 矿业科学学报 2020(02)
- [4].梳齿结构与振动梁复合的硅微谐振式加速度计非线性振动特性[J]. 光学精密工程 2020(05)
- [5].延长某型液浮陀螺加速度计精度寿命分析[J]. 科技创新与应用 2020(11)
- [6].双离心机法线加速度计动态校准中三参数余弦算法实现及应用[J]. 计测技术 2020(02)
- [7].谐振式加速度计动态特性研究[J]. 传感器与微系统 2020(06)
- [8].考虑应力分布约束的压电全向加速度计梁结构优化设计[J]. 光学精密工程 2020(08)
- [9].硅微谐振式加速度计电路带宽测试方法研究[J]. 传感器与微系统 2020(08)
- [10].基于斩波技术的静电悬浮加速度计驱动电路噪声抑制方法研究[J]. 空间电子技术 2020(03)
- [11].一种石英加速度计用磁处理系统研制[J]. 导航与控制 2020(03)
- [12].矽立科技交付第5亿颗加速度计[J]. 单片机与嵌入式系统应用 2019(01)
- [13].低频加速度计在特定温度下的灵敏度修正方法研究[J]. 中国测试 2018(S1)
- [14].高量程加速度计横向各向异性响应的自由落杆冲击评估法(英文)[J]. 微纳电子技术 2019(09)
- [15].石英加速度计失准角超差分析及解决方案[J]. 空间电子技术 2019(05)
- [16].悬丝式惯性加速度计稳定性分析[J]. 电子质量 2017(12)
- [17].ADXL356/ADXL357三轴MEMS加速度计 美国ADI公司[J]. 传感器世界 2017(12)
- [18].MEMS加速度计在防空导弹引信中的应用[J]. 兵器装备工程学报 2018(03)
- [19].半导体激光自混合干涉加速度计测试技术研究[J]. 激光杂志 2018(04)
- [20].高成本和低成本MEMS加速度计性能比较研究[J]. 传感器与微系统 2018(04)
- [21].小型化加速度计的研制[J]. 仪器仪表用户 2018(08)
- [22].MEMS加速度计混合误差标定补偿方案[J]. 压电与声光 2018(04)
- [23].MEMS加速度计噪声分析与降噪方法研究[J]. 传感器与微系统 2018(07)
- [24].基于MEMS加速度计的优化九位置校准算法[J]. 压电与声光 2018(05)
- [25].陀螺加速度计线振动台进动整周测试方法[J]. 中国惯性技术学报 2016(05)
- [26].基于速度误差的加速度计闭环标定方法[J]. 测绘科学 2016(12)
- [27].一种加速度计的标定补偿方法研究[J]. 传感技术学报 2016(12)
- [28].基于比力差分测量的加速度计温度误差补偿方法[J]. 中国惯性技术学报 2016(06)
- [29].振动校准加速度计频率响应不确定度的确定方法[J]. 仪表技术与传感器 2017(03)
- [30].加速度计的高冲击下响应理论与仿真方法研究[J]. 中北大学学报(自然科学版) 2017(02)