导读:本文包含了电子束缩小投影曝光机论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:电子束,技术,标记,数字,软件,信号,系统。
电子束缩小投影曝光机论文文献综述写法
史强,靳鹏云,张福安[1]（2002）在《电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用》一文中研究指出介绍了用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件及标记图形 ,模拟出标记对准的背散射信号 ,并与实际实验信号图形进行了对比。(本文来源于《微细加工技术》期刊2002年03期）
史强,靳鹏云,张福安[2]（2002）在《电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计》一文中研究指出文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。(本文来源于《微电子学与计算机》期刊2002年05期）
史强,靳鹏云,张福安[3]（2002）在《电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术》一文中研究指出介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理 ,阐述数字处理技术在对准系统中的应用 ,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计 ,并给出实际测试结果(本文来源于《微细加工技术》期刊2002年01期）
史强[4]（2002）在《高能电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的研究》一文中研究指出本论文介绍了电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的相关系统设计、流程设计、算法设计等，给出了实验数据和结果，实现了3σ为45nm的检测精度。 在电子束缩小投影曝光系统对准技术的原理实验中，介绍了电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理，阐述了数字处理技术在对准系统中的应用，以及对准数据的产生及数字处理的软件设计，并给出实际测试结果。原理实验验证了使用数字信号处理技术处理背散射电子(BSE)信号的可行性。 实验中设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件，采用多边形面积变化来表示背散射信号幅值的变化，利用有向环计算多边形面积，并模拟出标记对准的背散射信号，同时分析了不同标记图形所产生的BSE信号的特点，设计出适用于缩小投影系统的掩模图形及相应的标记图形。 在缩小投影电子束曝光机上完成了对准标记重复检测精度的研究，检测系统中使用了四象限的背散射电子检测器，提高了信号的信噪比，检测精度达到3σ=45nm，制作了用于拼接的掩模图形及相应的标记图形，为拼接实验作了一定的准备。(本文来源于《中国科学院研究生院（电工研究所）》期刊2002-03-25）
电子束缩小投影曝光机论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
文章介绍了对准技术,设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件,阐述其数学模型和算法设计,并模拟出标记对准的背散射信号。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
电子束缩小投影曝光机论文参考文献
[1].史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用[J].微细加工技术.2002
[2].史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计[J].微电子学与计算机.2002
[3].史强,靳鹏云,张福安.电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术[J].微细加工技术.2002
[4].史强.高能电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的研究[D].中国科学院研究生院（电工研究所）.2002