一种芯片加工用除尘装置论文和设计

全文摘要

本实用新型公开了一种芯片加工用除尘装置,其结构包括安装架、控制箱、电线、微型自吸泵、压力表、开关、电源线、箱体、嵌套钮、蜂窝板、透明板、连接孔、除尘枪、中空管和流量调节装置,通过在气槽底端设置了流量调节装置,选择合适腔体过风流量,将限位柱插入调节卡洞中,开启微型自吸泵,将尘体从除尘枪引入,穿过各个槽体,在经过第一腔体、第二腔体、第三腔体,风力推动挡风板,卷弹簧受力变形,挡风板最低位置为调节卡洞处,此时气流进入排气筒中,灰尘慢慢积聚在蜂窝板底端,达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果,再增强风量除尘,使精密芯片不轻易被损坏,实用性强的优点。

主设计要求

1.一种芯片加工用除尘装置,包括安装架(1)、控制箱(2)、电线(3)、微型自吸泵(4)、压力表(5)、开关(6)、电源线(8)、箱体(9)、嵌套钮(10)、蜂窝板(11)、透明板(12)、连接孔(13)、除尘枪(14)和中空管(15),其特征在于:还包括流量调节装置(7),所述安装架(1)底端嵌入安装于箱体(9)上,所述控制箱(2)正面与箱体(9)背面通过粘剂相粘接,所述电线(3)与控制箱(2)电连接,所述微型自吸泵(4)底端嵌入安装于箱体(9)上,所述压力表(5)外表面与箱体(9)内表面相嵌套,所述压力表(5)位于开关(6)背侧,所述流量调节装置(7)外表面安装于箱体(9)内,所述电源线(8)与控制箱(2)电连接,所述箱体(9)正面孔洞与嵌套钮(10)外表面螺纹连接,所述箱体(9)底端安装有蜂窝板(11),所述透明板(12)外表面嵌入安装于箱体(9)上,所述连接孔(13)贯穿于流量调节装置(7)上,所述除尘枪(14)右侧与中空管(15)左侧相连接,所述流量调节装置(7)包括螺丝孔板(701)、连接筒(702)、壳体(703)、传气管(704)、排气筒(705)和调控筒(706),所述螺丝孔板(701)右侧与壳体(703)左侧相焊接,所述连接筒(702)外表面嵌入安装于壳体(703)上,所述传气管(704)顶端与调控筒(706)底端相连接,所述传气管(704)左侧与排气筒(705)右侧相连接,所述排气筒(705)左侧嵌入安装于壳体(703)上并紧密贴合,所述壳体(703)安装于箱体(9)内侧右端。

设计方案

1.一种芯片加工用除尘装置,包括安装架(1)、控制箱(2)、电线(3)、微型自吸泵(4)、压力表(5)、开关(6)、电源线(8)、箱体(9)、嵌套钮(10)、蜂窝板(11)、透明板(12)、连接孔(13)、除尘枪(14)和中空管(15),其特征在于:还包括流量调节装置(7),所述安装架(1)底端嵌入安装于箱体(9)上,所述控制箱(2)正面与箱体(9)背面通过粘剂相粘接,所述电线(3)与控制箱(2)电连接,所述微型自吸泵(4)底端嵌入安装于箱体(9)上,所述压力表(5)外表面与箱体(9)内表面相嵌套,所述压力表(5)位于开关(6)背侧,所述流量调节装置(7)外表面安装于箱体(9)内,所述电源线(8)与控制箱(2)电连接,所述箱体(9)正面孔洞与嵌套钮(10)外表面螺纹连接,所述箱体(9)底端安装有蜂窝板(11),所述透明板(12)外表面嵌入安装于箱体(9)上,所述连接孔(13)贯穿于流量调节装置(7)上,所述除尘枪(14)右侧与中空管(15)左侧相连接,所述流量调节装置(7)包括螺丝孔板(701)、连接筒(702)、壳体(703)、传气管(704)、排气筒(705)和调控筒(706),所述螺丝孔板(701)右侧与壳体(703)左侧相焊接,所述连接筒(702)外表面嵌入安装于壳体(703)上,所述传气管(704)顶端与调控筒(706)底端相连接,所述传气管(704)左侧与排气筒(705)右侧相连接,所述排气筒(705)左侧嵌入安装于壳体(703)上并紧密贴合,所述壳体(703)安装于箱体(9)内侧右端。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述连接筒(702)包括穿孔(7021)、套座(7022)、接通头(7023)、螺纹(7024)和气道筒(7025),所述穿孔(7021)贯穿于套座(7022)底面,所述套座(7022)顶端与接通头(7023)底端通过粘剂相粘接,所述接通头(7023)表面设有螺纹(7024),所述气道筒(7025)与接通头(7023)螺纹连接,所述穿孔(7021)与调控筒(706)相互接通。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述调控筒(706)包括第一腔体(7061)、第二腔体(7062)、第三腔体(7063)、限位板(7064)、调节卡洞(7065)、挡风板(7066)、一体壳(7067)、卷弹簧(7068)和安装螺纹筒(7069),所述第一腔体(7061)、第二腔体(7062)、第三腔体(7063)安装于一体壳(7067)且腔体宽度相同,所述限位板(7064)下表面与挡风板(7066)上表面相贴合,所述调节卡洞(7065)设于一体壳(7067)内表面,所述挡风板(7066)上嵌入安装有卷弹簧(7068),所述安装螺纹筒(7069)与一体壳(7067)螺纹连接,所述第三腔体(7063)底端与传气管(704)顶端相互接通。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述螺丝孔板(701)与箱体(9)内部通过杯头螺丝相连接。

5.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述蜂窝板(11)底端设置有收集灰尘的凹槽,并嵌套于箱体(9)内部底端。

6.根据权利要求2所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述气道筒(7025)外表整体为圆柱体,并且内部中空部分与接通头(7023)相接通。

7.根据权利要求1所述的一种芯片加工用除尘装置,其特征在于:所述微型自吸泵(4)共有2个,并且底端均安装于箱体(9)上。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片除尘技术领域,具体涉及一种芯片加工用除尘装置。

背景技术

芯片是所有电气元件不可缺少的部分之一,芯片的好坏直接决定了电气设备性能的强弱。在制造芯片时,从原材料到最后封装芯片的每个环节都不可避免的产生尘屑,整个工序下来芯片上的积尘较多从而不得不进行除尘处理从而避免产生静电危害等能够造成芯片严重损害的情况发生,目前用于芯片除尘的装置采用的方式主要是毛刷扫除,毛刷的刷毛不断扫过芯片从而将其表面的尘屑扫除并进一步通过风机吸走,但是,在芯片实际生产过程中,由于装置本身不带有对除尘风力的调节,在较为精密的芯片上进行除尘,并不能调节为最小风量试用其除尘效果,再逐步增大增强除尘效果,如果强行大风力直接除尘只会损坏芯片,现有除尘装置难以调节风量,导致精密芯片因过强吸力损坏结构,从而造成除尘后芯片无法使用现象的发生。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足,现提出一种芯片加工用除尘装置,解决了现有除尘装置难以调节风量,导致精密芯片因过强吸力损坏结构,从而造成除尘后芯片无法使用现象发生的问题,达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果,再增强风量除尘,使精密芯片不轻易被损坏,实用性强的优点。

(二)技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现:本实用新型提出了一种芯片加工用除尘装置,包括安装架、控制箱、电线、微型自吸泵、压力表、开关、电源线、箱体、嵌套钮、蜂窝板、透明板、连接孔、除尘枪、中空管和流量调节装置,所述安装架底端嵌入安装于箱体上,所述控制箱正面与箱体背面通过粘剂相粘接,所述电线与控制箱电连接,所述微型自吸泵底端嵌入安装于箱体上,所述压力表外表面与箱体内表面相嵌套,所述压力表位于开关背侧,所述流量调节装置外表面安装于箱体内,所述电源线与控制箱电连接,所述箱体正面孔洞与嵌套钮外表面螺纹连接,所述箱体底端安装有蜂窝板,所述透明板外表面嵌入安装于箱体上,所述连接孔贯穿于流量调节装置上,所述除尘枪右侧与中空管左侧相连接,所述流量调节装置包括螺丝孔板、连接筒、壳体、传气管、排气筒和调控筒,所述螺丝孔板右侧与壳体左侧相焊接,所述连接筒外表面嵌入安装于壳体上,所述传气管顶端与调控筒底端相连接,所述传气管左侧与排气筒右侧相连接,所述排气筒左侧嵌入安装于壳体上并紧密贴合。

进一步的,所述连接筒包括穿孔、套座、接通头、螺纹和气道筒,所述穿孔贯穿于套座底面,所述套座顶端与接通头底端通过粘剂相粘接,所述接通头表面设有螺纹,所述气道筒与接通头螺纹连接,所述穿孔与调控筒相互接通。

进一步的,所述调控筒包括第一腔体、第二腔体、第三腔体、限位板、调节卡洞、挡风板、一体壳、卷弹簧和安装螺纹筒,所述第一腔体、第二腔体、第三腔体安装于一体壳且腔体宽度相同,所述限位板下表面与挡风板上表面相贴合,所述调节卡洞设于一体壳内表面,所述挡风板上嵌入安装有卷弹簧,所述安装螺纹筒与一体壳螺纹连接,所述第三腔体底端与传气管顶端相互接通。

进一步的,所述螺丝孔板与箱体内部通过杯头螺丝相连接。

进一步的,所述蜂窝板底端设置有收集灰尘的凹槽,并嵌套于箱体内部底端。

进一步的,所述气道筒外表整体为圆柱体,并且内部中空部分与接通头相接通。

进一步的,所述微型自吸泵共有2个,并且底端均安装于箱体上。

进一步的,所述卷弹簧为弹簧钢材料,弹性势能优良。

进一步的,所述挡风板为碳化钢材料,硬度高,并且抗腐蚀性强。

(三)有益效果

本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:

1)、为解决现有除尘装置难以调节风量,导致精密芯片因过强吸力损坏结构,从而造成除尘后芯片无法使用现象发生的问题,通过在气槽底端设置了流量调节装置,根据实际情况,选择合适腔体过风流量,将限位柱插入调节卡洞中,开启微型自吸泵,将尘体从除尘枪引入,穿过各个槽体,在经过第一腔体、第二腔体、第三腔体,风力推动挡风板,卷弹簧受力变形,挡风板最低位置为调节卡洞处,携带尘体的气体沿管道吸入,灰尘慢慢积聚在蜂窝板底端,达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果,再增强风量除尘,使精密芯片不轻易被损坏,实用性强的优点。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的流量调节装置结构简图;

图3为本实用新型的连接筒结构示意图;

图4为本实用新型的调控筒结构示意图。

图中:安装架-1、控制箱-2、电线-3、微型自吸泵-4、压力表-5、开关-6、电源线-8、箱体-9、嵌套钮-10、蜂窝板-11、透明板-12、连接孔-13、除尘枪-14、中空管-15、流量调节装置-7、螺丝孔板-701、连接筒-702、壳体-703、传气管-704、排气筒-705、调控筒-706、穿孔-7021、套座-7022、接通头-7023、螺纹-7024、气道筒-7025、第一腔体-7061、第二腔体-7062、第三腔体-7063、限位板-7064、调节卡洞-7065、挡风板-7066、一体壳-7067、卷弹簧-7068、安装螺纹筒-7069。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

请参阅图1、图2、图3和图4,本实用新型提供一种芯片加工用除尘装置:包括安装架1、控制箱2、电线3、微型自吸泵4、压力表5、开关6、电源线8、箱体9、嵌套钮10、蜂窝板11、透明板12、连接孔13、除尘枪14、中空管15和流量调节装置7,安装架1底端嵌入安装于箱体9上,控制箱2正面与箱体9背面通过粘剂相粘接,电线3与控制箱2电连接,微型自吸泵4底端嵌入安装于箱体9上,压力表5外表面与箱体9内表面相嵌套,压力表5位于开关6背侧,流量调节装置7外表面安装于箱体9内,电源线8与控制箱2电连接,箱体9正面孔洞与嵌套钮10外表面螺纹连接,箱体9底端安装有蜂窝板11,透明板12外表面嵌入安装于箱体9上,连接孔13贯穿于流量调节装置7上,除尘枪14右侧与中空管15左侧相连接,流量调节装置7包括螺丝孔板701、连接筒702、壳体703、传气管704、排气筒705和调控筒706,螺丝孔板701右侧与壳体703左侧相焊接,连接筒702外表面嵌入安装于壳体703上,传气管704顶端与调控筒706底端相连接,传气管704左侧与排气筒705右侧相连接,排气筒705左侧嵌入安装于壳体703上并紧密贴合。

其中,所述连接筒702包括穿孔7021、套座7022、接通头7023、螺纹7024和气道筒7025,所述穿孔7021贯穿于套座7022底面,所述套座7022顶端与接通头7023底端通过粘剂相粘接,所述接通头7023表面设有螺纹7024,所述气道筒7025与接通头7023螺纹连接,利于增强连接处的密封性,增强吸尘风力,所述穿孔7021与调控筒706相互接通。

其中,所述调控筒706包括第一腔体7061、第二腔体7062、第三腔体7063、限位板7064、调节卡洞7065、挡风板7066、一体壳7067、卷弹簧7068和安装螺纹筒7069,所述第一腔体7061、第二腔体7062、第三腔体7063安装于一体壳7067且腔体宽度相同,有利于风向均匀分配、流向流畅,所述限位板7064下表面与挡风板7066上表面相贴合,所述调节卡洞7065设于一体壳7067内表面,所述挡风板7066上嵌入安装有卷弹簧7068,所述安装螺纹筒7069与一体壳7067螺纹连接,所述第三腔体7063底端与传气管704顶端相互接通。

其中,所述螺丝孔板701与箱体9内部通过杯头螺丝相连接,利于使用者拆卸,且安装方式简单、快捷。

其中,所述蜂窝板11底端设置有收集灰尘的凹槽,并嵌套于箱体9内部底端,有利于集尘,且表面孔洞可一定程度上防止灰尘扬起。

其中,所述气道筒7025外表整体为圆柱体,并且内部中空部分与接通头7023相接通,利于传导风力,保证流通。

其中,所述微型自吸泵4共有2个,并且底端均安装于箱体9上,利于使用者选择性加强除尘风力,可根据情况只使用一个。

其中,所述卷弹簧7068为弹簧钢材料,弹性势能优良,利于挡风板7066在无风情况下回弹,使腔体密闭。

其中,所述挡风板7066为碳化钢材料,硬度高,并且抗腐蚀性强。

本专利所述的微型自吸泵4是属于自吸式离心泵,工作前只需保证泵体内储有定量引液即可,自吸泵启动后叶轮高速旋转使叶轮槽道中的风流向涡壳,吸入管内的空气进入泵内,并经叶轮槽道到达外缘,型号为SWP160,具有结构紧凑、操作方便、运行平稳、维护容易、效率高、寿命长的优点;所述卷弹簧7068是一种利用弹性来工作的机械零件,用弹性材料制成的零件在外力作用下发生形变,除去外力后又恢复原状,亦作“弹簧”,一般用弹簧钢制成,弹簧的种类复杂多样,按形状分,主要有螺旋弹簧、涡卷弹簧、板弹簧、异型弹簧等。

工作原理:在使用前,将电源线8通电,并设置最高位置调节卡洞7065,使挡风板7066过风量最小进行试用效果测试,手持除尘枪14,对准芯片除尘位置,根据情况选择开启微型自吸泵4个数,打开开关6,微型自吸泵4开始运转,压力表5显示压力值,微型自吸泵4将除尘枪14头处的灰尘引入连接筒702,连接筒702与调控筒706设置有方形槽体进行中转过渡,调控筒706在风力的推动下,内部挡风板7066向下移动,最低位置在调节卡洞7065上,卷弹簧7068的作用为复位挡风板,挡风板上方的限位板7064限制了挡风板最高位置,风经第一腔体7061、第二腔体7062、第三腔体7063最终流入底端连通腔体中,向下继续进入传气管704、排气筒705,排气筒705与箱体9接通处为连接孔13,灰尘排入箱体9,积聚在蜂窝板11底端,达到了能够先调节最小风量试用其除尘效果,再增强风量除尘,使精密芯片不轻易被损坏,实用性强的优点,其中,传气管704两端外侧均有采用玻璃胶沿连接处涂抹,加强密闭性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

设计图

一种芯片加工用除尘装置论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201920298671.9

申请日:2019-03-09

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:88(济南)

授权编号:CN209810814U

授权时间:20191220

主分类号:B08B5/04

专利分类号:B08B5/04

范畴分类:26P;

申请人:山东中芯光电科技有限公司

第一申请人:山东中芯光电科技有限公司

申请人地址:250101 山东省济南市高新区港兴三路北段一号济南药谷研发平台1号楼A座423室

发明人:金秋林

第一发明人:金秋林

当前权利人:山东中芯光电科技有限公司

代理人:周成金

代理机构:11642

代理机构编号:北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642

优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

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