LED产业含氨含氢废气处理技术发展现状

论文摘要

LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积（MOCVD）工艺会产生大量废气,其主要成分为NH3,H2,N2和少量金属有机化合物（MO源）,必须进行无害化处理,工业上常用的方法有燃烧法、水吸收法和化学法等。由赛科康仑公司设计开发的新型LED废气资源化装置以精馏蒸氨为原理,通过参数设计、设备集成优化,一步实现废气水淋洗液被浓缩得到浓度为20%的高纯浓氨水,可进一步制成氨气或液氨返回生产工艺,氨回收率大于99%,具有占地面积小、操作弹性大、资源化效率高的特点。

论文目录

• 0 引言
• 1 常见处理技术
•   1.1 燃烧法
•   1.2 水吸收法
•   1.3 化学法 （酸吸收法）
• 2 新型废气资源化处理装置
•   2.1 资源化处理思路
•   2.2 设备设计参数
•   2.3 运行情况
•   2.4 装置特点
• 3 总结与展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 许海青,陶莉,刘晨明,林晓,李志强,李雅

关键词: 行业,含氨废气,处理技术,资源化

来源: 环境科技 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 环境科学与资源利用

单位: 北京赛科康仑环保科技有限公司,中国科学院过程工程研究所环境技术与工程研究部绿色过程与工程重点实验室北京市过程污染控制工程技术研究中心

基金: 国家重点研发计划资助(2017YFB0403300)

分类号: X76

页码: 53-56+62

总页数: 5

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