论文摘要
设计了一种化学机械抛光设备(CMP)的底座系统,主要包括地脚、方钢管、大铝板等。针对CMP设备在使用中存在的噪声偏大,高转速下的电机转动引起的共振影响晶圆抛光质量问题,通过MSC Patran分析软件,对CMP的主要部件——底座系统,进行了振动模态分析,并在此基础上进行了以改变基频为目标的结构优化设计。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 胡孝伟,刘福强,刘志伟,张金环
关键词: 化学机械抛光设备,底座系统,频率分析,结构优化
来源: 电子工业专用设备 2019年02期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
分类号: TG175
页码: 59-62
总页数: 4
文件大小: 1357K
下载量: 36
相关论文文献
- [1].对平行四边形底座起升影响因素的分析与研究[J]. 山东工业技术 2020(02)
- [2].关于鼓风机底座拼装-焊接工艺的研究[J]. 内燃机与配件 2020(15)
- [3].一种泵用大型可调焊接底座的设计[J]. 科技与创新 2017(12)
- [4].浅谈框架式电视机底座设计[J]. 科技创新导报 2017(09)
- [5].底座之于雅石的重要性[J]. 中华奇石 2020(10)
- [6].暴力散热底座变温柔[J]. 电脑爱好者 2009(19)
- [7].离心泵底座的数值模拟及试验分析[J]. 数字技术与应用 2019(10)
- [8].可调节通用电力设备底座的研制[J]. 电工技术 2020(17)
- [9].机械字码打印底座结构优化设计及应用[J]. 装备制造技术 2018(10)
- [10].避雷器底座绝缘电阻下降原因分析及改进措施[J]. 电工技术 2016(05)
- [11].“藏石热”带动木底座制作生意[J]. 致富时代 2009(10)
- [12].技巧啦啦队单底座高位双臂托举握法的比较与研究[J]. 长治学院学报 2012(02)
- [13].风力发电机机舱底座有限元分析[J]. 中国重型装备 2020(01)
- [14].全钢底座在T梁施工中的应用[J]. 山西建筑 2018(17)
- [15].过洋性渔船运输支撑底座设计[J]. 中国水运(下半月) 2017(11)
- [16].抽油机电机灰口铸铁底座的补焊分析[J]. 科技创新与应用 2015(33)
- [17].3D打印技术下工艺品底座的设计与制作[J]. 中国文艺家 2020(04)
- [18].拓扑优化在提高电机底座固有频率中的应用[J]. 机械工程与自动化 2014(03)
- [19].液压支架底座的有限元分析[J]. 煤矿机械 2012(06)
- [20].浅谈扶手底座设计中的受力分析[J]. 机械 2011(12)
- [21].减速机浮动底座扭力臂支撑销轴直径的确定及校核[J]. 机械工程师 2016(04)
- [22].网格质量对公共底座数值模拟的影响[J]. 机电设备 2015(03)
- [23].口腔综合治疗椅电动慢机底座的维修与改造[J]. 医疗卫生装备 2015(09)
- [24].玩壁挂 手把手教你拆底座[J]. 电脑爱好者 2014(17)
- [25].830E矿用自卸车转向缸底座开裂原因分析与改进[J]. 煤矿机械 2014(01)
- [26].某药模底座失效分析[J]. 精密成形工程 2013(01)
- [27].拼装组合式制梁底座施工技术[J]. 铁道建筑技术 2013(05)
- [28].两种不同结构滑动水口滑板底座的对比研究[J]. 铸造技术 2012(08)
- [29].硝酸四合一机组底座的谐响应分析[J]. 中国重型装备 2009(03)
- [30].红外导引头平台底座拓扑优化设计[J]. 飞控与探测 2020(02)
标签：化学机械抛光设备论文; 底座系统论文; 频率分析论文; 结构优化论文;