彩膜微观缺陷修补自动化实现和效率提升

彩膜微观缺陷修补自动化实现和效率提升

论文摘要

为了提高设备智能化作业,节省人力,对彩色滤光膜微观缺陷自动化修补进行了研究。通过最小循环比对法,修补设备能实现自动查找缺陷、确认缺陷精确位置并自行选择研磨、激光或填色等修补作业方式的功能,替代人工角色。经统计,自动修补成功率为99.8%,与人工修补成功率99.9%接近,满足生产需求。8.5代线CF工厂自动化修补导入后,该岗位人员配置由20人降低为7人。进一步地,通过赋予检测设备给基板判级功能,使不需要修补的基板不进入修补设备,优化了基板流向和设备负荷。优化后,BM、RGB和PS修补工序平均修补一个卡夹的时间分别减少了24%、12%和6%,提升了修补效率。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 CF工艺流程和微观缺陷修补方式
  •   2.1 CF工艺流程
  •   2.2 CF微观缺陷种类和修补方式
  • 3 CF微观缺陷修补自动化实现
  •   3.1 BM后微观缺陷自动修补实现
  •   3.2 RGB后微观缺陷自动修补实现
  •   3.3 PS后微观缺陷自动修补实现
  • 4 CF微观缺陷自动化修补效率的提升
  • 5 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 蒋迁,王旭,王兰健,何晨彤,武占英,董宏达,李海飞

    关键词: 彩色滤光膜,微观缺陷,修补,自动化

    来源: 液晶与显示 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备,电信技术

    单位: 北京京东方显示技术有限公司

    分类号: TB383.2;TN873.93

    页码: 652-658

    总页数: 7

    文件大小: 3506K

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