论文摘要
激光跟踪干涉仪具有自跟踪功能,测量空间对角线时相对激光干涉仪更方便,因此对激光跟踪干涉仪检测坐标测量机的原理和方法开展研究。对激光跟踪干涉仪采用不同分布开展了基站坐标自标定实验,得到基本一致的基站站位坐标;在此基础上开展了激光跟踪干涉仪和激光干涉仪的应用对比实验。实验结果表明二者测量500 mm长度的最大差值为0. 37μm,线性补偿后小于0. 1μm。因此验证了激光跟踪干涉仪检测方法的正确性和可行性,为坐标测量机检测提供了一种更便捷的方法,尤其适用于受实物标准器尺寸限制的大型坐标测量机检测。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 秦海濛,林虎,薛梓,杨国梁,张福民
关键词: 计量学,误差检测,激光跟踪干涉仪,坐标测量机,最小二乘法,高斯牛顿法
来源: 计量学报 2019年S1期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院,中国计量科学研究院
基金: 国家重点研发计划(2017YFF0204804)
分类号: TH721;TH744.3
页码: 1-7
总页数: 7
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