论文摘要
多晶硅作为一种电子产业、太阳能应用产业中的常用材料,随着近年来的科技水平与产业发展实际,导致中国的多晶硅的需求量也逐渐增加。对此文章将结合多晶硅生产工艺流程,探究废气处理期间存在的问题与工艺改造的方法,期待能为产业发展提供参考。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 马自玉
关键词: 多晶硅,废气处理,工艺改造
来源: 化工管理 2019年01期
年度: 2019
分类: 经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,环境科学与资源利用
单位: 天津辰耀化学工程设计服务有限公司
分类号: X701;TQ127.2
页码: 85-86
总页数: 2
文件大小: 2701K
下载量: 98
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