论文摘要
在正交设计的基础上,通过一系列工艺测试实验,研究了MEE外延温度、MEE退火温度、CdTe外延温度、CdTe退火温度对Si基复合衬底的两个关键质量因素FWHM和表面粗糙度的影响。通过统计技术对测得的实验数据进行了方差分析,结果表明,CdTe退火温度是影响FWHM的关键因子,MEE退火温度和CdTe外延温度对R_a值来说影响是显著的。通过该系列实验得到最优的外延工艺条件。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王丛,强宇,高达,师景霞
关键词: 正交设计,复合衬底,工艺优化
来源: 激光与红外 2019年11期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,无线电电子学
单位: 华北光电技术研究所
分类号: TN213;TB33
页码: 1353-1356
总页数: 4
文件大小: 383K
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