采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜

采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜

论文摘要

采用自行搭建的脉冲热蒸发化学气相沉积(PSE-CVD)系统,制备了薄膜状的氧化亚铜样品。通过使用XRD、SEM和XPS三种检测手段分别从晶相鉴别、微观特征和元素构成的方面对沉积的样品迚行了表征。结果证实脉冲热蒸发化学气相沉积法能够制备出高纯度的氧化亚铜。

论文目录

  • 1 Cu2O薄膜的制备
  •   1.1 PSE-CVD方法和制备条件
  •   1.2 制备速率
  • 2 制备样品分析
  •   2.1 分析方法说明
  •   2.2 薄膜结构
  •   2.3 表面形态
  •   2.4 化学构成
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 潘冠福

    关键词: 氧化亚铜,脉冲热蒸发化学气相沉积

    来源: 当代化工 2019年08期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 煤科院节能技术有限公司,煤炭资源开采与环境保护国家重点实验室,国家能源煤炭高效利用与节能减排技术装备重点实验室

    基金: 中国煤炭科工集团有限公司科技创新创业资金专项青年项目《微波加热气相沉积法制备SCR催化剂研发》,2018QN004

    分类号: TQ131.21

    DOI: 10.13840/j.cnki.cn21-1457/tq.2019.08.017

    页码: 1704-1706+1710

    总页数: 4

    文件大小: 1338K

    下载量: 310

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