Bi2Te3薄膜的制备及热电性能研究

论文摘要

利用化学沉积技术在云母衬底上制备Bi2Te3薄膜,采用光学显微镜研究不同的制备条件对Bi2Te3薄膜样品形貌的影响,并使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和Seebeck系数电导率测试仪分析Bi2Te3薄膜的物相、厚度、元素含量和热电参数。实验结果表明,在蒸发源温度为525℃、携带气流流速为30sccm、生长压力为50Pa的最佳条件下制备出高质量连续、室温功率因子为48.2μWm-1K-2的Bi2Te3薄膜。

论文目录

• 1 实验部分
•   1.1 Bi2Te3薄膜的制备过程
•   1.2 Bi2Te3薄膜的制备、表征与热电性能测试仪器
• 2 结果与讨论
•   2.1 不同条件下制备的Bi2Te3薄膜形貌分析
•   2.2 Bi2Te3薄膜物相、厚度及能谱分析
•     2.2.1 Bi2Te3薄膜物相分析
•     2.2.2 Bi2Te3薄膜厚度及能谱分析
• 3 Bi2Te3薄膜热电性能测试
•   3.1 Bi2Te3薄膜的seebeck系数分析
•   3.2 Bi2Te3薄膜的电导率分析
•   3.3 Bi2Te3薄膜的功率因子分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王凯,仲德晗,张扬,孙乃坤

关键词: 薄膜,化学气相沉积,热电性能

来源: 沈阳理工大学学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 沈阳理工大学理学院

分类号: TB383.2;TQ135.32

页码: 85-89

总页数: 5

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