玻璃基板热收缩率测量方法浅析

玻璃基板热收缩率测量方法浅析

论文摘要

随着显示技术向高分辨率发展,TP(Total Pitch)成为面板品质的关键控制指标之一,对玻璃基板的品质提出了更高的要求,尤其是LTPS制程中的热收缩性能已成为玻璃基板的核心指标之一。热收缩性能现有5种测试方法:划线对比法、膨胀法、激光法、密度法、拉丝法。通过分析每种方法的优缺点,提出了划线对比法、膨胀法、激光法的改进方向。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 划线对比法
  •   1.1 设备及样品
  •   1.2 测试步骤及结果计算
  •     (1) 刻标记线
  •     (2) 试样热处理
  •     (3) 测量位移量
  •     (4) 结果计算
  •   1.3 优缺点分析
  • 2 膨胀法
  •   2.1 设备及样品
  •   2.2 测试步骤及结果计算
  •     (1) 样品切割及测量
  •     (2) 样品热处理
  •     (3) 参数设置
  •     (4) 数据测量
  •     (5) 数据处理
  •     (6) 样品B的收缩率XB
  •     (7) 结果计算
  •   2.3 优缺点分析
  • 3 激光法
  •   3.1 设备及样品
  •   3.2 测试步骤及结果计算
  •     (1) 初始测量
  •     (2) 样品安装
  •     (3) 样品热处理
  •     (4) 数据测量及结果计算
  •   3.3 优缺点分析
  • 4 密度法
  • 5 拉丝法
  • 6 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 胡恒广

    关键词: 有机发光二极管,玻璃基板,热收缩,划线对比法

    来源: 玻璃 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 东旭集团有限公司

    分类号: TQ171.1

    页码: 13-17

    总页数: 5

    文件大小: 1863K

    下载量: 74

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