扩散泵的现状及发展趋势

论文摘要

本文简述扩散泵的原理、特点、分类、用途,回顾国内扩散泵发展的历史进程,分析扩散泵的现实水平、状况,探讨扩散泵未来的发展前景。

论文目录

• 1 扩散泵简介
• 2 扩散泵的发展历史
• 3 扩散泵的发展现状
•   3.1 扩散泵结构和工作液的现状
•   3.2 扩散泵理论的发展现状
•   3.3 扩散泵性能的发展现状
•   3.4 扩散泵设计理论的发展现状
• 4 扩散泵的发展前景
•   4.1 节能型扩散泵的研究
•   4.2 低返油率扩散泵的研究
•   4.3 高度自动化扩散泵的研究
•   4.4 特殊需求扩散泵的研究
•   4.5 扩散泵的理论和设计方法研究
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张志军,张世伟,韩进,徐成海

关键词: 扩散泵,特点,历史,现状,前景

来源: 真空 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 工业通用技术及设备

单位: 东北大学机械工程与自动化学院

基金: 国家自然科学基金,31371873,31000665,51176027,31300408

分类号: TB75

DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.03

页码: 12-20

总页数: 9

文件大小: 3536K

下载量: 133