导读:本文包含了微缩投影物镜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:物镜,光刻,论文,Schwarzschild。
林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒[1]（2003）在《偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调》一文中研究指出针对极紫外投影光刻 ( Extreme Ultraviolet Lithography,简称 EUVL)工作波长短的特点及由此带来的一些问题 ,对 EUVL微缩投影物镜的结构参数进行分析选择 ,设计了离轴照明方式的 Schwarzschild微缩投影成像物镜。利用基于奇异值分解的牛顿迭代法对敏感矩阵进行分解 ,求出相应失调量的大小 ,以实现系统的精密装调(本文来源于《光学仪器》期刊2003年04期）
[1].林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒.偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调[J].光学仪器.2003
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