本征薄层异质结太阳能电池论文

对非晶硅薄膜进行快速磷扩散以获得本征薄层异质结
论文摘要本征薄层异质结（HIT）太阳能电池具有优异的性能,包括效率高、成本低、稳定性好、制备温度低等。本研究利用磁控溅射技术在p型单晶硅（pc-Si）衬底上制备一定厚度的本征非...