表面杂质论文

薄膜残余应力和表面杂质对变形镜疲劳寿命的影响
论文摘要文中综合考虑变形镜（DM）薄膜残余应力和表面杂质的影响,采用ANSYS有限元分析软件建立了镀高反射膜系的变形镜应力分析模型,进而基于应力-寿命（S-N）曲线和Miner...