电磁复合磁控溅射论文

论文摘要利用电弧复合磁控溅射技术制备不同Ti/Al比的Ti-Al-C涂层,结合后续的退火处理制备Ti2AlC相涂层。利用SEM、EDS、XRD、Raman光谱仪和TEM等研究了...