低横向灵敏度论文

基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计
论文摘要提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Co...