递进式误差补偿论文

宏/微双驱动微切削定位进给系统的递进式误差补偿技术研究
论文摘要宏/微双驱动微切削定位进给系统在航空航天、医疗、核能以及IC制造等领域具有广泛的应用,其定位进给精度是保证零件切削加工质量的根本。为了提高其定位进给精度,提出一种机械补...