坩埚形状论文

铸锭炉改进对多晶硅固-液界面影响的数值模拟
论文摘要使用COMSOLMultiphysics模拟软件对多晶硅定向凝固炉内热场进行分析,将坩埚侧壁倾斜一定角度并在坩埚与护板之间的倾角间隙处添加一个内衬块,研究并分析了坩埚侧...