高功率磁控溅射论文

倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究
论文摘要如何提高高功率磁控溅射技术（HIPIMS）的沉积速率一直是PVD领域的研究热点,微脉冲复合高功率磁控溅射技术由于其在常规HIPIMS的单脉冲内耦合多个微脉冲,不仅进一步...
直流和高功率磁控溅射制备氮化铬薄膜及其结构性能比较
论文摘要目的比较直流磁控溅射(DCMS)和高功率磁控溅射(HiPIMS)两种沉积技术制备的氮化铬(CrN)薄膜的结构和性能。方法采用DCMS和HiPIMS沉积技术,在金属镍(N...