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  • 与CMOS工艺兼容的氧化铪基铁电材料的亚稳相及其存储器器件力学

    与CMOS工艺兼容的氧化铪基铁电材料的亚稳相及其存储器器件力学

    论文摘要该文对新型的氧化铪基铁电晶体管存储器的巨大优势及其面临的工程和科学问题进行了详细评述,提出了存储器"器件力学"的概念.作为电子信息技术最核心的存储器...
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