光学窗口论文

离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用
论文摘要为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺...