化学溶液法论文

论文摘要氧化铪基薄膜与金属氧化物半导体（CMOS）工艺高度兼容,具有良好的可微缩性和保持性能,其铁电性的发现引起了科学家们的广泛关注.该文通过化学溶液法在铂（Pt）衬底上制备5...