溅射电流论文

银靶电流及溅射偏压对溅射沉积Cu/Ag薄膜导电性能的影响研究
论文摘要磁控溅射技术制备有望作为电接触材料的Cu-Ag薄膜的工艺探索。利用方块电阻仪测试薄膜电阻,借助白光干涉仪和扫描电镜分析不同电流和不同偏压下粗糙度、薄膜厚度、Ag含量及微...