界面钝化论文

论文摘要最近,旋涂法制备的钙钛矿/平面硅异质结高效叠层太阳电池引起人们广泛关注,主要原因是相比于绒面硅衬底制备的钙钛矿/硅叠层太阳电池,其制备工艺简单、制备成本低且效率高.对于...

论文摘要研究了不同条件的非原位NH3等离子体钝化对Al2O3/SiGe/Si结构界面组分的影响。在p型Si（100）衬底上外延一层30nm厚的应变Si0.7Ge0.3,采用双层...