近化学计量比论文

论文摘要用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si（100）基片上沉积了LiTaO3薄膜,并在氧气气氛中不同温度下进行退火。采用SEM、XRD、XPS等表征方法分析了薄膜的结...