金属介质金属论文

下一代表面等离子体纳米光刻和纳米压印系统的研究
论文摘要传统光学光刻受到衍射极限的限制,分辨率通常只有半波长,随着微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS）和微光机电系统（Micro...