离子束刻蚀论文

论文摘要采用Sol-Gel（溶胶-凝胶）法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了约200nm厚的PZT（锆钛酸铅）铁电薄膜,然后用氩离子束对PZT薄膜进行刻蚀.研究了不同的离...