面蓝宝石衬底论文

不同种类表面活性剂对a面蓝宝石衬底CMP的影响
论文摘要研究了在抛光液中分别添加非离子表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFCE)、阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸(LAS)和阳离子表面活性剂十二烷基三甲基氯化铵(DTAC)对a面蓝...