脉冲磁控溅射论文

车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析
论文摘要采用高功率脉冲与脉冲直流磁控溅射相结合的方法,在车用316L不锈钢表面制备得到CrAlN涂层,分析了各基体偏压状态下CrAlN涂层的化学成分及其组织和性能的变化。结果表...