脉冲负偏压论文

论文摘要通过直流磁控溅射技术在基体（硅片、高速钢、钢片）上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构和性能的变化规律。实验结果表明,这种...