脉冲激光沉积法论文

脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能
论文摘要采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌（GZO）透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体...