脉冲直流磁控溅射论文

高功率脉冲和脉冲直流磁控共溅射CrAlN薄膜的研究
论文摘要目的通过掺杂适量Al元素来固溶强化CrN薄膜,从而提高薄膜的抗氧化性能和热稳定性。方法采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术制备了CrAlN薄膜,利用XR...