纳米压印论文

论文摘要为研究氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性,使用单点金刚石切削制备微金字塔结构,结合纳米压印技术制备氮化硅微金字塔结构薄膜,对其透射率与散射进行检测。通过对底面角度可变的...

论文摘要传统光学光刻受到衍射极限的限制,分辨率通常只有半波长,随着微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS）和微光机电系统（Micro...