去除速率论文

论文摘要研究了在抛光液中分别添加非离子表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFCE)、阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸(LAS)和阳离子表面活性剂十二烷基三甲基氯化铵(DTAC)对a面蓝...

论文摘要研究了碱性阻挡层抛光液中各组分对Cu、Ta和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率的影响。通过单因素实验分别考察了磨料、FA/OⅡ螯合剂、KNO3和FA/OⅡ表面活性剂质量分数...

论文摘要采用均匀沉淀法,以硫酸铝、尿素、PEG-2000为原料,通过调整Al3+浓度制备不同粒径的球形氧化铝。采用X射线衍射仪、扫描电镜对前驱体及氧化铝进行表征。将不同粒径的氧...