容性耦合等离子体论文

磁化容性耦合等离子体的PIC/MCC模拟研究
论文摘要低气压下的容性耦合等离子体源(CapacitivelyCoupledPlasma,CCP)具有装置结构简单和成本经济的优点,被广泛应用于微电子工业中。随着微电子工业的飞...