射线光电子能谱仪论文

半导体光生电荷分离及迁移原位X射线光电子能谱仪表征分析系统的研制
论文摘要在确保X射线光电子能谱仪(XPS)原有超高真空系统及性能指标的基础上,设计并研制出一套适用于半导体光生电荷分离及迁移的原位XPS分析测试系统.将XPS与半导体光照体系相...