酸刻蚀论文

金刚石线切割多晶硅片的表面织构研究
论文摘要采用HNO3:HF:H2O=5:1:3.4和HNO3:HF:H2O=8:1:3.4两种腐蚀液体系,研究了HNO3浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间对金刚石切割多晶硅片表面腐蚀的...