碳化硅籽晶论文

SiC籽晶上生长AlN单晶的杂质组成及处理
论文摘要采用物理气相传输法在SiC异质籽晶上制备了AlN单晶。通过Raman光谱仪、X射线衍射仪、二次离子质谱仪和X射线光电子能谱研究了AlN单晶的结晶质量和杂质成分,针对不同...