微电铸器件论文

基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究
论文摘要微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现...