无镜成像论文

论文摘要光波的相位分布包含了待测样品的内部结构等诸多信息。如何恢复CCD无法直接记录的相位信息是计算成像领域研究热点。叠层衍射成像(PtychographicIterative...

论文摘要无缺陷掩膜板的制作是极紫外光刻技术的重要环节,因此对掩膜板的缺陷检测十分关键。由于掩膜基底对极紫外光有强吸收特性,极紫外掩膜缺陷检测一般采用反射式系统。受限于极紫外苛刻...